二手 RUDOLPH FE III #9165606 待售

RUDOLPH FE III
製造商
RUDOLPH
模型
FE III
ID: 9165606
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
Wafer thickness measurement system, 6" 1995 vintage.
RUDOLPH FE III是一种自动化、计算机控制的光学计量仪器,设计用于测量薄膜厚度、折射率以及薄膜的其他特性。这款椭圆偏光计是一款使用HeNe激光光源、两台旋转分析仪的组合以及一台探测器构建的无损分析工具。激光测量来自光学平坦基板的反射光中的相变和能量位移,并通过一个可旋转的补偿器和分析器将其分成两束等幅光束。这种偏振元件的组合反射和传输光在探测器的方向上创建一个可测量的椭圆偏振信号。检测器然后将椭圆偏振信号转换成电压信号,由数据采集系统记录和处理,可以报告薄膜厚度、折射率和薄膜的其他特性。数据采集系统还具有用于查看记录信息的液晶屏,并具有用于打印结果或保存到文件的外部打印机端口。RUDOLPH FEIII还附带了一个软件驱动的用户界面,允许椭圆偏振仪的自动设置、操作和控制。该软件可以量身定制,以改变分析仪的角度、激光强度、激光波长、椭圆角以及更多的设置来获得所需的信息。还可以设置测量参数以提高精度。软件还使用户能够获得样本基板的多种读数,并可以存储、分析和检索数据。此外,FE-III的校准效率很高,因为用户可以利用各种内部校准标准或利用外部物质。FEIII的可靠性、灵活性、精确度和准确性使其成为光学元件、半导体、太阳能电池等多种薄膜测试应用的理想仪器。直观的用户界面、自动化的功能和集成的系统设计都使FE III成为广泛应用的绝佳选择。
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