二手 RUDOLPH FE IV #293830949 待售
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ID: 293830949
优质的: 1995
Thickness measurement system
Process capability: 0.11µm, 0.13 µm, 0.15 µm, 0.18 µm, 0.25 µm, 0.35 µm
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12x24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / gray scale detection
Manual / auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robot
(3) cassettes: 100 mm to 200 mm
Pre-aligner:
Virtual flat / notch finder
X, Y Centering: ±50 μm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 µm
Stage:
Accuracy: 7 µm over 200 mm
Repeatability: ±1 µm
1995 vintage.
RUDOLPH FE IV是一种椭圆偏振器，又称椭圆偏振器，是一种用于测量材料光学特性的工具。RUDOLPH FE-IV是一种精确可靠的椭圆偏光计，用于多种测量，如薄膜厚度、折射率、吸收和反射率、表面粗糙度、介电常数和双折射。它还提供各种散射、光谱和成像能力，以进一步扩展其应用。该设备由三个主要组件组成。第一种是单色仪，它选择一条狭窄的光带与样品相互作用。然后将这种光谱分辨的光源反射出样品表面，然后部分折射的光通过一个沃拉斯顿棱镜，将光束分成两个分量。然后将它们集中在一个探测器上，在那里记录每束光束的强度。根据这一数据，椭圆仪可以确定样品材料的光学性质。FE IV适用于范围广泛的样品材料，从金属和半导体到玻璃和聚合物。它采用模块化设计,可快速轻松地进行设置,使其适合在实验室中使用或用于现场测量。FE-IV还配备了自动化的样品扫描，从而能够更快、更高效地进行测量。RUDOLPH FE IV能够进行广泛的测量，从角度分布和地形到厚度、薄膜特性和散射。RUDOLPH FE-IV也可用于成像。使用显微镜和光学适配器，该仪器可用于表面的深度成像和分析，包括肉眼看不到的粗糙和瑕疵。FE IV具有强大的成像功能,可用于更详细地了解材料的光学特性。FE-IV直观的软件平台使其易于配置和使用。它可以用来监测正在进行的实验，收集数据，以及解释结果。该软件还允许用户自定义参数和设置,以根据手头的应用程序定制其测量值。RUDOLPH FE IV是一种先进的椭圆仪，非常适合各种测量和应用。该仪器具有强大的光学和成像功能,可帮助快速准确地测量和分析材料的光学特性。
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