二手 RUDOLPH FE IV #9314879 待售
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ID: 9314879
Focus ellipsometer
Light source:
HeNe laser: 632.8 nm
Laser diode: 780 nm
Spot size:
Test site: 12 x 24 µm
De-skew: 125 µm
Site by site: 50 µm
Pattern recognition:
Optional pattern recognition
Edge / Gray scale detection
Manual / Auto de-skew
Reteach
Wafer handling:
3-Axis robot
With (3) cassettes: 100 mm to 200 mm
Pre-aligner:
Virtual flat / Notch finder
X, Y Centering: ±50 µm
Theta: ±0.1°
De-skew: ±5 µm
Stage:
Accuracy: 7 µm over 200 mm
Repeatability: ±1 µm
Uptime: >95%
MTBF: >1,500 hours.
RUDOLPH FE IV是一种用于光谱椭圆偏振领域的椭圆仪,一种无损光学技术,用于测量材料的光学、电气和/或结构特性。RUDOLPH FE-IV是一种计算机控制、双光束、单波长椭圆偏光计,执行双向测量,意味着它能够测量一个表面上的入射和反射光角度。它利用两束可组合调制的独立光束来测量样品的复杂Mueller矩阵,从而可以准确快速地测定材料的光学常数。FE IV设计用于测量多种材料,包括有机和无机材料、单层和多层样品、薄膜、反射和透射表面以及各类分子和底物。它还提供了在广泛的样本大小和厚度范围内同时测量多个样本的功能,从而最大程度地灵活地进行样本表征。在操作中,由单色仪产生入射光束,并通过偏振光学器件分裂成两个光束。两束光束指向样品,然后用线性可变偏振滤光片收集反射光。偏振角由样品确定,然后调制,产生四种强度测量之一。然后利用一系列数学算法收集分析这一数据,得出光学常数,包括光学增益或损耗、反射率幅度、折射率和消光比。FE-IV直观的界面和强大的软件允许各级专长的用户简单操作,并可与单元件系统一起使用,以更高级的多光束配置和表面地形映射。样品固定在精确旋转表中,可以在两个方向上移动。该表是完全可旋转的,允许在整个角度范围内对入射光和反射光进行快速、准确的测量。RUDOLPH FE IV包含一个功能样本的综合库进行比较,提供了一种准确、可重复的材料测量方法。
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