二手 RUDOLPH FE VII #293758798 待售

RUDOLPH FE VII
製造商
RUDOLPH
模型
FE VII
ID: 293758798
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
Thickness measurement system, 8" 2002 vintage.
RUDOLPH FVII是一种广为人知的椭圆偏振仪,广泛用于精确的表面表征测量。RUDOLPH FVII是一种多用途的工具,可以在不同的光束位置、多频率测量、偏振测量和光谱扫描下执行薄膜测量、晶圆映射和散射角扫描。此外,它还能够进行真正的多角度椭圆偏振测量。RUDOLPH FVII能够将高达10nm的数据收集到基板中,具有出色的精度和分辨率以及出色的可重复性。它包括众多方便的功能,包括自动归零功能、可调采样参数、自动漂移校正、板载图像捕获以及各种远程显示选项。RUDOLPH FVII的核心组件由光谱仪、椭圆仪、控制单元和驱动单元组成。该光谱仪用于测量不同角度的波强度、波长和偏振。椭圆偏振仪测量来自样品表面的光的偏振,由偏振调制器、反射镜、偏振器和光电探测器组成。控制单元用于将信号从驱动单元传输到椭圆仪和光谱仪组件。驱动单元是一种机械臂,用于将椭圆偏光计放置在各种位置和各种方向上。要使用RUDOLPH FVII,所需的样品被放置在系统导轨上,机械臂被用来将椭圆偏光计移动到位。然后自动归零特征自动计算测量的起点。通过使用可调参数,用户可以选择所需的测量参数,如角度数、频率数、频谱范围等。建立好设置后,驱动单元可以根据测量结果,在不同方向上移动椭圆仪。收集到的数据随后在控制单元中处理,可以多种不同格式显示,包括频率扫描、消光比和显示。RUDOLPH FVII是在薄膜厚度测量、折射率测定、光学常数计算、薄膜性能评估等应用中进行精确测量的绝佳工具。它的自动归零特性、可调参数和各种板载特性使它无论使用哪种样品类型都能准确高效地执行。
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