二手 RUDOLPH FE VII #9097170 待售

RUDOLPH FE VII
製造商
RUDOLPH
模型
FE VII
ID: 9097170
晶圆大小: 6"
优质的: 2001
System, 6", 2001 vintage.
RUDOLPH FE VII是一种先进的椭圆偏振仪,使用光谱技术测量光从表面反射的方式,计算与光学性质有关的精确参数。该仪器结合了紫外可见光谱仪、偏振仪和可变角度采样级,测量各种材料表面的折射率、薄膜厚度、薄膜应力和其他光学性质。利用双旋转补偿器板,光偏振并指向样品表面的各种角度,根据其光学性质反射性质改变的光。光谱仪然后收集、过滤和测量反射光在多个角度和波长上的强度。此数据用于计算样品的光学特性。高精度和重复性是RUDOLPH FEVII的关键特征。该仪器采用先进的电动采样级,始终保持入射光束与采样面垂直。压力控制系统还确保样品在操作过程中不发生运动,从而实现了0.2nm可重复性和更好的整体精度的精确测量。FE-VII还配备了用于简化数据操作的强大数据分析包。该软件允许快速、方便地进行测量结果分析,数据仍以原始文本格式保存,以便将来在外部应用程序中进行分析。考虑到样品膜的几何形状以及应力和折射率,也可用于相位测量分析。RUDOLPH FE-VII适用于多种光学和薄膜应用,包括计量、光学设计、研发、工业制造、质量控制和环境监测。它还配备测量从原子层到毫米的全范围薄膜。其先进的设计和功能确保了可靠而精确的元件和产品测量。
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