二手 RUDOLPH FOCUS FE III #9188629 待售

RUDOLPH FOCUS FE III
ID: 9188629
晶圆大小: 8"
优质的: 2003
Ellipsometer, 8" 2003 vintage.
RUDOLPH FOCUS FE III是由RUDOLPH Technologies製造的椭圆偏振仪。是一种用于测量薄膜厚度和折射率、消光系数等光学常数的高精度装置。它使用偏振光反射从样品和椭圆偏振的组合来测量和分析这些材料更好的精度。FOCUS FE III椭圆偏振仪是利用偏振光反射与椭圆偏振相结合的理论进行高精度测量的仪器。该装置包括光源、光调制器、采样级、偏振控制器以及光学和电子探测器。偏振光束由光源产生,由旋转的半波板调制。然后将光反射出样品并由检测器检测并由偏振控制器进行分析。使用偏振光是因为它在分析薄膜时能提供比非偏振光更多的信息。样品级用于定位和安装样品。这里使用红外光束和激光传感器检测样品位置,并相应调整光路。这使得RUDOLPH FOCUS FE III能够精确测量入射角和极化调制。偏振控制器是一种滤光、调节和测量光束偏振的光学设备。它使用四分之一波板和分析仪来测量反射光的偏振状态。光学和电子探测器测量样品对偏振光的影响。该信息被仪器的光学部分用来确定诸如薄膜厚度、折射率和消光系数等测量值。总体而言,FOCUS FE III是一种高度精确的设备,用于测量薄膜厚度和折射率、消光系数等光学常数。采用偏振光反射和椭圆偏振法相结合,能够快速准确地测量出精密的薄膜。
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