二手 RUDOLPH S3000A #9389594 待售

RUDOLPH S3000A Ellipsometer是一种通用的多波长光学测量设备，设计用于检查半导体晶片上的薄膜堆栈。该系统是为测量全场和局部光学参数而开发的。它提供可靠、可重复的测量，具有高精度和可重复性。RUDOLPH S 3000A包含一个光源、光学收集光学器件和一个四象限光电二极管探测器来测量样品的复杂光学响应。此技术称为椭圆偏振法。该单元能够测量波长范围为350-215nm的样品的与极化无关的透射和反射光谱的全宽半最大值（FWHM）。S3000A利用旋转偏振器头,其中包含7000多个光学元件来调制光,从而使用户能够测量光强度和偏振的变化。机器还包含一个集成的校准程序，以确保准确和可重复的读数。S 3000 A集成了一整套软件包,这些软件包结合了强大的分析和数据处理功能。利用其软件，RUDOLPH S3000A可以快速准确地分析薄膜。用户可以将数据保存到内部内存或外部数据存储设备。分析报告可以很容易地转移到计算机上作进一步检查。RUDOLPH S 3000A适合于多种应用，是半导体工业中的宝贵工具。它非常适合表征薄膜堆栈，如氧化物、氮化物和金属。该工具允许用户创建可用于优化设备参数的详细分析报告。S3000A易于设置、操作和维护。可靠，维护寿命低。高精度和可重复的性能使S 3000 A成为薄膜堆栈表征的绝佳选择。尽管RUDOLPH S3000A具备各种功能,但它是进行椭圆偏振测量的经济高效的解决方桉。