二手 RUDOLPH S3000S #9122476 待售
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ID: 9122476
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Focused beam ellipsometer, 12"
Wavelength-stabilized diode laser
Magnification microscope
Visible reflecto meter
Windows operating system
SEMI-compliant E-95 software
RAID 1 mirror hard disk,
(1) GB RAM memory
3 GHz Dual Core MPU
Metrology module user interface
High resolution flat-panel display
Keyboard
Pointing device
Metrology module-end
EMO button
Automation features:
EFEM with high-speed Yaskawa dual-arm robot
Ultra-clean HEPA air filtering mini environment
Amber interior lighting in the EFEM
EMO to the right and left of the loadports
SEMI F47 compliant power-sag protection
Metrology optics and hardware options:
Wavelength stabilized 923nm DFB laser
Temperature controlled optics
Software Options:
Cognex patMax pattern recognition
FabConnect software: HSMS, GEM with trace data
Statistical data analysis, graphing and display software
Xport Automation platform options:
Ionizer kit for dual-loadport EFEM
Signal Tower (5-color: R, Y, G, B, Clear)
AdvanTag 9100 Carrier ID reader
E84 Controller required for TDK + Hokuyo
2010 vintage.
RUDOLPH S3000S是一种多用途且用户友好的椭圆表。椭圆偏振仪测量光束在从样品表面反射或透射后的偏振状态变化。这些信息可用于测量各种薄膜的厚度，以及确定样品的折射率、消光系数和表面形态。RUDOLPH S 3000 S是一种光学椭圆偏振仪，其工作方式是以非常低的强度、单色偏振光照射样本表面，并测量光反射回来时偏振的变化。在与样品相互作用前后，这种光被分成四个通道。通过模拟理论预测与实测极化状态的比较，可以准确地确定薄膜的性能。S3000S还包括获得专利的Fast Kinetics Utility,它允许在只有一个测量设置的快速变化的胶片系统上进行多角度测量。S 3000 S能够同时测量厚度、折射率、光学各向异性、吸收系数和样品表面形态等多个膜参数。它可以自信地测量薄如几埃和各种样本量的薄膜。RUDOLPH S3000S可以容纳具有多层衍射和折射光学材料的样品，以获得整个结构的信息。RUDOLPH S 3000 S采用可变角度旋转偏振器和PD-SQuaRe控制分析模块，允许角度和偏振的独立调整。S3000S还配备了自动漂移和背景校正功能,以实现更快、更可靠的数据收集和更高的数据准确性。此外，S 3000 S同时支持反射和透射椭圆偏振，与其他同类系统相比，允许更广泛的应用。RUDOLPH S3000S是一个功能强大但用户友好的工具，旨在测量和分析各种薄膜样品。它能够通过其专有的光学器件、可变角度旋转偏振器以及集成的PD-SQuaRe控制和分析模块提供最高精度和精度的数据。无论样品大小、厚度或表面类型，RUDOLPH S 3000 S都允许同时测量各种膜参数。
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