二手 TECHNICAL INSTRUMENT COMPANY KMS 310 #9117073 待售
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TECHNICAL INSTRUMENT公司KMS 310是一种高度先进的0.25 nm波长椭圆仪,设计用于半导体计量和实验室工作领域的研发应用。它被设计为在测量薄膜厚度、层组成、折射率和其他光学参数时提供高度的精度和可重复性。KMS 310采用全自动4轴设计,可实现最高精度。这样可以在广角范围内以极高的速度和一致性精确监控椭圆参数。该仪器还能够分析频率到波长的服务和多波束技术,以测量扩展范围内的反射数据。TECHNICAL INSTRUMENT公司KMS 310由一个内部光谱仪提供动力,为用户在整个范围内提供准确和可重现的光学数据集。集成的PEEK横向扫描阶段捕获整个薄膜堆栈的精确3 D椭球反射率映射。这使得在新的薄膜沉积和开发过程中对薄膜和薄膜性能进行精确的光学评估。KMS 310为要求苛刻的基于光学的计量过程提供了卓越的性能。通过包括MCVD(带可变测量延迟的多通道椭圆量)技术,提高了直接长宽比读数。MCVD允许在一个测量周期内对多达四个波长位置进行可变测量,并且角度解析分析可低至0.1°。这项功能强大的技术使用户能够以惊人的精度分析从亚纳米范围到亚毫米范围的薄膜堆栈。TECHNICAL INSTRUMENT公司KMS 310为实验室中的薄膜和层的研发提供了仪器用户所需的一切-更高的角度分辨率、更薄膜的精度、更快的结果时间、改进的表面分析等等。它具有很高的可重复性和准确性,使其成为纳米加工相关实验室和半导体工业实验室的理想工具。
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