二手 ADIXEN AMS 100 I-speeder #293817770 待售
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ID: 293817770
优质的: 2004
Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher (ICP-RIE) system
Process performance:
Etch rates (≈25 % pattern load):
Bosch deep silicon etching: 5–6 µm/min
Smooth & shallow fast‑switching Bosch process: ~1 µm/min
Silica / quartz RIE etching: ~350 nm/min
O₂ chamber cleaning
O₂ photoresist stripping
O₂ residue (“descum”) etch
Bosch conditioning processes
Used for deep silicon etching
Gas lines:
SF₆: max. 1000 sccm
C₄F₈ (high-flow): max. 400 sccm
C₄F₈ (low-flow): max. 100 sccm
O₂: max. 200 sccm
He (backside cooling): max. 200 sccm
CH₄ (separate gas cabinet): max. 100 sccm
Wafer clamping:
Water cooled and non-cooled version, 4"
Water cooled version, 8"
He backside cooling system
ATH 1600 M Turbo pump
(2) A300 Roughing pumps
VAT PM-6 Pendulum valve
DRESSLER Cesar 1330 RF generator
Frequency: 13.56 MHz
Max. output power: Up to 3 kW
Output voltage: 400 V
DRESSLER Cesar 133 RF generator
Frequency: 13,56 MHz
Max. output power: 300 W
ADVANCED ENERGY LF5 DC generator
Frequency: 50 to 460 kHz in 100 Hz steps
Max. output power: 500 W
Temperature range: -30°C to +60°C
2004 vintage.
ADIXEN AMS 100 I-speeder是一款尖端蚀刻/asher设备，配备先进的技术，用于对基板进行精确高效的加工。AMS 100 I-speeder由真空技术解决方桉的领先制造商ADIXEN开发，旨在满足半导体制造、研究实验室和其他需要高性能表面处理设备的行业的需求。ADIXEN AMS 100 I-speeder具有紧凑而坚固的设计,可最大限度地提高空间利用率,同时确保操作过程中的稳定性。该系统配有高性能真空室，保持精确蚀刻和灰化过程所必需的受控环境。该腔室采用优质材料建造，以确保耐用性和长期性能。AMS 100 I-speeder的关键亮点之一是其先进的等离子体蚀刻和等离子体灰化能力。该装置采用先进的等离子体生成技术，允许对基板进行控制和统一的加工。这项技术能够从基板表面精确去除材料，使其成为半导体制造和其他工业中的蚀刻和清洁应用的理想选择。ADIXEN AMS 100 I-speeder配备了多用途的过程控制机，允许用户量身定制蚀刻和灰化过程，以满足他们的特定要求。该工具提供了一系列可以调整的参数，如气体流速、等离子体功率和工艺时间，以达到预期的效果。此外,资产还具有实时监控和反馈机制,可确保流程稳定性和可重复性。在生产力和效率方面,AMS 100 I-speeder提供了令人印象深刻的性能水平。该模型能够处理各种基材尺寸和材料，使其成为各种应用的通用解决方桉。其高速处理功能可实现快速周转时间,提高总体吞吐量并降低处理成本。此外,ADIXEN AMS 100 I-speeder还采用了用户友好的功能,便于操作和维护。该设备配备了直观的控制界面，使操作员能够轻松地监控和调整过程参数。此外，该系统还采用了安全功能，以确保操作员的保护，并最大限度地减少操作过程中发生事故的风险。AMS 100 I-speeder的设计也考虑到可持续性。该装置的设计目的是尽量减少能源消耗和废物产生，促进更环保的运作。其高效的设计和优化的工艺参数有助于降低用户的总体碳足迹和运营成本。总体而言,ADIXEN AMS 100 I-speeder作为一款结合了先进技术、精确性能和用户友好功能的尖端蚀刻机/asher机而脱颖而出。无论用于半导体制造、研究实验室还是其他行业，该工具都为表面处理应用提供了可靠高效的解决方桉。它的多功能性、生产力和可持续性特性使其成为寻求高性能表面处理设备的组织的宝贵资产。
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