二手 ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 #9299602 待售

ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000是一款先进的模块化蚀刻器和asher设备,旨在为各种应用程序提供最大的系统灵活性和性能。该单元具有高精度、模块化、多过程支持,可用于蚀刻、灰化、胶卷曝光和其他应用。AMS 2000的模块化设计提供了优化、高效和可配置的机器，并允许用户根据需要轻松扩展工具的功能。资产包括一个标准的双车道、多模蚀刻器和一个模块化的基础单元，以及一个可选的膨胀室，以增加模型的容量多达408个晶圆。高精度蚀刻模块提供高精度、低排便的薄膜精密蚀刻，使用户能够实现并保持可重复性和准确性。蚀刻模块具有预测和预防性维护功能,可最大程度地减少过程中断并延长关键组件的使用寿命。先进的模块化asher模块提供了卓越的工艺精度和可重复性，并利用最新技术蚀刻和清洁后制造晶片。该腔室采用双喷嘴设计，带有气体喷射管，用于精确蚀刻和清洁晶圆难以触及的区域。Asher提供过程诊断功能,允许用户监视和分析蚀刻过程,以确保满足过程参数和要求。可选的胶片曝光模块利用光源技术，准确、精确地曝光各种尺寸的正片、负片和临界片。曝光模块旨在提高吞吐量,同时确保准确性和可重复性。ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000支持的最大晶圆尺寸为8英寸，接口和控制设备使用Windows操作系统进行直观和用户友好的操作。该装置利用双通道处理最大限度地提高吞吐量，减少周期时间，确保最大生产效率和质量。AMS 2000蚀刻器具有模块化设计和先进的特点，是各种半导体制造应用的理想解决方桉。