二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #293743831 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E是一种先进的蚀刻器/灰化器,用于使用硅蒸气作为蚀刻剂对基板和样品表面进行蚀刻、灰化和清洁。它具有优良的无粒子蒸气蚀刻器，具有高精度的局部加热技术，能够控制不同基板位置的温度，精度高达0.2°C。该仪器提供了一个易于导航的用户界面以及大量的功能和功能，使用户能够以最小的努力产生统一和准确的结果。它配有4.3英寸触摸屏,具有图形菜单和用户友好的导航定制处理参数。它能够控制多达4个气体供应，并提供各种各样的工艺时间控制功能。它还配备了双源设备，允许广泛的蚀刻工艺。该仪器具有有效的温度控制，保证了良好的蚀刻均匀性。它具有一个无源冷却系统，可根据机组产生的热量自动调节功率。一个可选的组合聚焦和对齐机是可用于苛刻的基板。此外，该仪器具有低死区收集技术，可确保在该过程中收集的所有颗粒都被完全去除，从而获得最佳蚀刻结果。该仪器非常可靠和坚固，可以进行广泛的操作。它具有高度的自动化，允许高度的过程控制。它还提供高级流程监控和分析功能。该仪器的循环时间约为30分钟，可以运行长时间的自动化蚀刻过程，并具有高度可重复的结果。此外,它还具有超压和温度故障安全系统以及安全门等安全功能。总体而言，ADIXEN 601E是一种先进的蚀刻器/灰化器，具有优良的无粒子蚀刻、高精度的局部加热和温度控制、广泛的工艺时间控制功能以及先进的工艺监测和分析能力。对于具有高度可靠性和过程控制的基板和样品表面进行蚀刻、灰化和清洗非常理想，使其适用于所有类型的蚀刻应用。