二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9260027 待售

ID: 9260027
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE).
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E是一种针对需要高吞吐量、重复性和准确性的应用而设计的蚀刻器/asher。它是一个集成了真空室、加热室、控制面板、泵和传感器的设备。蚀刻器/asher可靠可靠,非常适合工业应用。ADIXEN 601E有一个容量为0.25至5升的真空室。它配备了一个自动自调谐保护系统(STP),该系统在蚀刻器/asher触发器触发时监视所有压力设定点和工艺条件。这样可以确保过程的可重复性和准确性。腔室加热至高达1000 °C的温度,壁上涂有硬质聚四氟乙烯,以防止侵蚀性物质侵袭。ALCATEL 601E配备了一个控制面板,允许用户编程时间、温度、压力、流量、溷合物成分等参数。这样可以精确调整腔室的温度,以适应个别应用。控制面板还允许用户远程监视和控制具有兼容界面的任何PC或设备上的蚀刻器/asher。蚀刻器/asher还包含多个泵,包括一个涡轮分子泵、一个液体泵和一个液环泵。这些泵可确保不同的工艺气体以所需的速率和压力保持流动。水泵具有较高的可靠性,长期提供可靠的性能。蚀刻器/灰化器配备了一系列传感器,包括用于压力、温度、真空、气体成分和电流的传感器。这些传感器使蚀刻器/灰化器能够准确地监视和控制腔室中的工艺条件。如果发生任何异常情况,传感器也可用于关闭设备。PFEIFFER 601E是一种可靠可靠的蚀刻器/灰化器,非常适合需要精确工艺条件和可重复性的工业应用。其集成的机器,自动化的刀具控制,以及广泛的传感器阵列确保准确和可重复的结果。
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