二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #9267161 待售

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E
ID: 9267161
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE).
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E是一种先进的蚀刻/组装仪器,设计用于硅表面、金属和半导体材料的蚀刻。这款蚀刻机具备高速、高精度、高通量能力,非常适合研发、先进的产品开发、高质量的制造工艺。ADIXEN 601E主要用于半导体器件的蚀刻,采用三步工艺。第一步将晶片放入蚀刻室中,暴露在高强度等离子体中。然后将等离子体加热至高达200摄氏度的温度,以去除不需要的表面层。在第二步中,蚀刻过程开始,利用量身定制的蚀刻过程将所需的区域蚀刻成所需的图桉和形状。最后,在第三步中,对晶片进行清洗清洗,以确保残留产物的去除。ALCATEL 601E具有广泛的先进技术以提供最佳性能。其高精度蚀刻控制设备采用了先进的软件,以确保在蚀刻过程中的精度。该机具有温度控制、等离子体功率控制、蚀刻用离子束参数等全过程控制。此外,蚀刻器还配备了高通量系统,允许在各种晶圆尺寸上快速蚀刻。601E具有复杂的安全功能,包括自动关机,可确保晶圆在蚀刻过程中的任何时刻都不会损坏。其先进的灭火机在蚀刻过程中提供了额外的定心丸。PFEIFFER 601E能够蚀刻金属、半导体和硅等多种材料中存在低缺陷的高精度图样。蚀刻结果具有极好的均匀性,允许制造高质量、高精度的元件。蚀刻器易于使用,可靠性高,是广泛研发过程的理想选择。
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