二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602E #9232742 待售
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ID: 9232742
晶圆大小: 6"
Deep silicon etcher, 6"
Cassette vacuum load lock
Low pressure plasma source
Temperature controlled cryo chuck
Substrate holder: Θ150 mm
(2) Programmable Logic Controllers (PLC)
(2) Chamber etch systems
With handler
Process module:
Transfer chamber
Automated robotic arm
Computer interface system
(5) Sub assemblies:
Process chamber
Substrate holder
Plasma source
Power supplies
Pressure control
Transfer module:
Transfer chamber
Load lock chamber
Pressure control
Automatic loading and unloading substrates
With robotic arm, load lock and pumping package
System control module:
Real time process control and recipe management
RF Power control
Automatic substrate bias voltage control
Pump and valve control
Process gas flow control
Automatic batch processing
Manual control of all I/O signal.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602E Etcher/Asher是一种先进的工业工具,用于在多种材料的表面上创建高精度的图桉。该工具能够以非常高的速度产生高分辨率的结果。它的多种构型允许湿蚀和干蚀，以及地形、同位素和光刻蚀刻。ADIXEN 602E的主要特点是其数字化、高分辨率的编程和控制设备，允许方便的模式调整，其高度的灵活性，使不同的蚀刻过程和不同的应用。数字化的计算机化系统还包括自动校准和自动校正机制，确保随着时间的推移取得一致的结果。当涉及到有效性时，ALCATEL 602E被设计成具有45度倒角的高达0.2微米的精度。这种高精度使得复杂设计的细节更加准确和逼真。该单元的功率还确保蚀刻过程更快而不牺牲精度，在短时间内产生多种图桉。PFEIFFER 602E还提供多种安全和环境特性。机器受到保护，防止水花飞溅，保持刀具内部干燥。它还旨在最大限度地减少灰尘排放和噪音，使其即使在工业环境中也能使用。此外,该资产还配备了用户友好的界面和软件,便于模型操作。602E Etcher/Asher是精密零件标记、地形、图样、蚀刻/标记和光刻的理想工具。由于它的特点,它可以提供准确、高分辨率的结果,而不管它所面临的挑战如何。该设备具有高度可配置性,在阵列尺寸、正在处理的材料类型、阵列的复杂性等方面提供了灵活性。所有这些功能协同工作,为用户提供优化、高效的过程,确保快速、准确的结果。
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