二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A601 #293667511 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601是一种等离子体蚀刻器/灰化器,旨在蚀刻、灰化和剖析各种材料的表面。它由领先的等离子体设备制造商ADIXEN开发，提供市场上最强大的等离子体蚀刻/灰化装置之一。ADIXEN A601设计用于半导体、微波、MEMS和高频行业。它是一个超高性能的系统，能够产生快速、准确和可靠的蚀刻和灰化结果。该单元还具有用于连续监测的内置过程模拟功能，允许精确的蚀刻/灰分过程控制和过程优化。ALCATEL A601提供自动化和手动操作模式，以及各种各样的等离子体配方。具有等离子体均匀性高、内部基板温度控制调节快、射频功率水平低、V/I线性度高、工作温度低等特点。它还配备了专有的等离子体源保护机器，提供智能和反馈，以防止等离子体"过度燃烧"和潜在的表面损坏。PFEIFFER A601专为最高的吞吐量输出而设计,工作速度极快。它有一个创新的，灵活的工作区域，双壁室保护。腔室可以快速打开和关闭，以便于底物的装卸。闭环匹配网络、高精度触摸面板和抗菌UHP腔室保护装置A601了最佳性能和安全性。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601还具有多步等离子体蚀刻/灰化程序，允许用户将多个配方编程到工具中，同时监控多个配方。这样可以精确控制和监控蚀刻/灰分过程。ADIXEN A601先进的高功率等离子体源改变了等离子体蚀刻和灰化可以在多种材料中创造精确的纳米结构特征的方式。ALCATEL A601的多功能性可用于蚀刻、粉刷和轮廓薄膜、硅片和其他基板。它也非常适合蚀刻基于MEMS的结构，如射频滤波器、波导、天线图样等等。PFEIFFER A 601的超切割性能、准确性、可靠性和可重复性使其成为市场上最先进的等离子体蚀刻/灰烬工艺工具之一。它是一个功能强大且经济高效的工具,可提供最高的吞吐量和灵活性,以创建高度详细和可靠的蚀刻/灰烬配置文件。