二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A601E #9301828 待售
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ID: 9301828
晶圆大小: 8"
Etcher, 8"
Gasses: Ar, CF4, O2, C4F8, SF6
Pump 1: ALCATEL ADP 122P
Pump 2: ALCATEL ACP 20
Chiller: LAUDA PK8 CP.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601E蚀刻器是一种可靠、精确的干蚀刻设备，设计用于薄层金属或其他材料在晶圆表面的沉积。ADIXEN A601E是一个用途广泛的系统，具有广泛的变量，可以针对蚀刻过程进行调整。ALCATEL A601E利用大功率电子束对晶圆的工作气体、蚀刻材料和表面进行电离。该单元采用精密的光学方法扫描蚀刻区域，调整光束参数，以提供最高的蚀刻精度。然后将正在蚀刻的材料从蚀刻区域抽空，然后为下一次沉积准备晶片。PFEIFFER A601E机能够蚀刻铝、铜、钨、钛和金等材料。该工具还可以提供广泛的蚀刻深度，并且可以调整蚀刻过程以提供改进的表面质量。资产也可以用来去除晶圆表面的任何瑕疵。A601E模型采用用户友好界面设计,用户可以轻松设置蚀刻参数。用户还可以通过计算机界面访问设备的所有参数，可以实时监控过程，也可以相应调整参数。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER A601E系统高效可靠,用户可以快速准确地将薄层金属沉积在晶圆表面上。该单元非常适合商业和工业应用。该机器还能够提供比其他蚀刻器更高的蚀刻工艺精度和重复性。该工具运行成本低,易于维护。
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