二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9251507 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE是一种蚀刻/asher工艺设备，设计用于研发和生产半导体应用的快速高精度加工。它是低温等离子体蚀刻器，由大真空室、等离子体源、阳极氧化晶片卡盘和基板支架组成。ADIXEN AMS 200 SE被设计成以高精度和可靠性同时处理标准和特殊的半导体应用。ALCATEL AMS 200 SE配备了能够达到-70°C以下温度的晶圆卡盘。这确保了等离子体处理在精确和均匀的温度下进行。晶片卡盘也被设计为通过减少对标线的需求来降低拥有成本，从而延长卡盘的寿命。基板支架装有自动地板装载机，以便快速方便地装载基板。PFEIFFER AMS 200 SE还配备了先进的多区ACC控制器和离子计，用于精确控制基板温度和功率水平。AMS 200 SE在低温蚀刻过程中运行，以尽量减少蚀刻时产生热污染。它还配备了先进的等离子体源控制，以确保以最高的效率和准确度进行蚀刻过程。通过使用精密蚀刻面罩、厚厚的氮化物毯片基板和先进的智能传感器技术，实现了高精度。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE具有很高的灵活性和多功能性，因为它能够处理各种基材类型和材料，涵盖从溅射晶片到非氧化物基材的范围。利用六轴光束扫描、可编程和曲线拟合功能,可以进一步优化蚀刻工艺的各种蚀刻轮廓控制。它还具有低蚀刻速率的时间周期,用于晶圆的均匀和可重复蚀刻.最后，ADIXEN AMS 200 SE凭借其先进的安全装置，如EMI滤波器、温度控制器、数字控制器和多区腔室安全系统，提供了高度的安全性。这些安全装置提高了工艺的可靠性和准确性，以确保以最低风险水平实现最终产品的高质量。ALCATEL AMS 200 SE对于那些寻找可靠、准确和安全的蚀刻/asher工艺设备的人来说是绝佳的选择。