二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9262896 待售

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ID: 9262896
晶圆大小: 6"
优质的: 2004
Etcher, 6" Process: Deep etcher Chuck type: ESC Exhaust heater EPD ALCATEL AHT 1600-M Turbo pump Gases: SF6: 1000 sccm, unit UFC-8101 C4F8: 400 sccm, unit UFC-8101 O2: 200 sccm, unit UFC-8101 Ar: 1000 sccm, unit UFC-8101 2004 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE是一款用途广泛、经济实惠的蚀刻设备,旨在为微电子行业的蚀刻操作提供可靠的解决方桉。该系统采用符合人体工程学设计的设计,使设备适合各种用户需求。ADIXEN AMS 200 SE是一款全自动蚀刻机,提供多种配置选项,允许用户根据自己的确切要求量身定制蚀刻工艺。该工具包括一系列支持组件,如软件开发工具包(SDK)、安全监视器和安全快门。蚀刻资产还包括晶圆处理机器人模型,即使在最具挑战性的情况下也能提供快速、准确、精确的晶圆装卸。ALCATEL AMS 200 SE提供多种真空选择,包括干燥、惰性、油和低温系统。还包括一系列真空泵,如隔膜、涡轮、涡轮分子、低温和无油泵。此外,设备还设有Cx程序员,可以让用户轻松编程和配置蚀刻系统。PFEIFFER AMS 200 SE设计了一系列高级特性和功能,以确保获得最佳效果。该单元提供了一个集成的图形用户界面(UI),可以轻松访问各种设置和功能。该控制机除提供有关蚀刻过程进度的状态更新外,还设计用于管理和监控晶片的加载和卸载。还包括一系列传感器系统,可提供有关腔室和组件温度、压力以及操作员性能的实时反馈。AMS 200 SE具有一系列先进的安全功能,以确保它按照行业内的安全最佳做法和标准运行。这些功能包括各种安全警报、安全快门和紧急停止。此外,该工具还包括自动产品验证、WPC(废料预防控制)过程验证和寿命校准。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE是一种创新可靠的器件蚀刻资产。该模型提供了可靠性、灵活性和成本效益,旨在提供准确可靠的结果。其多种特性和元件使其非常适合广泛的半导体和微电子蚀刻应用。
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