二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9296962 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE是半导体工业的先进蚀刻器/asher。它为广泛的加工领域中的干蚀刻应用提供了一个集成的、经济高效的解决方桉。ADIXEN AMS 200 SE 蚀刻器/asher配备了一个完全可编程的水平工艺室（HPC）和一个横向晶圆集传输（LWST）。HPC旨在提供一系列的工艺解决方桉，包括蚀刻、灰化、预蚀刻和离子植入。该腔室还提供防止导电和腐蚀性材料的保护。LWST提供了一种精确、可重复、低压的基板和晶片在工艺室之间的传递。ALCATEL AMS 200 SE还提供了一系列过程控制功能,包括配方的灵活性、可变温度和气体流量,以及超压控制技术和先进的安全功能。蚀刻器/灰化器还配备了射频等离子体源，能够在蚀刻或灰化过程中在基板上提供重复且均匀的等离子体。等离子体的均匀性提供了卓越的过程控制和精度。此外，PFEIFFER AMS 200 SE还设有专门的减排系统，用于管理废气排放。该系统基于一系列过滤步骤，以确保最纯净的工艺气体输出可用。AMS 200 SE为半导体、电子、医疗、汽车等多个行业的蚀刻和灰化基板提供了快速、可靠和可重复的替代方桉。其先进的安全功能保护用户,确保过程的可重复性和质量,并最大限度地提高成本效率。