二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #293757692 待售
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ID: 293757692
Etcher
ESC Chuck, 6"
Robot and controller
Molecular pump and controller
Butterfly valve and controller
E-Chuck voltage controller
Chamber
RF Source and bias match
Chiller
Process and transfer dry pump chamber
MFC Gases: N2, AR, O2, SF6, C4F8
T1/T2 Transformer: 110 V
RF Source generator: 3 kW
RF Bias generator: 500 W
PC
Monitor
Keyboard
Transformer: 380-208 AC, 3 Phase.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款基于磁控管辅助反应离子蚀刻（RIE）技术的设备集成蚀刻器。它旨在提供金属靶标以及包括氮化硅、多晶硅和低k电介质在内的硅基材料的高性能蚀刻。ADIXEN AMS 200主要用于蚀刻微电子元件、MEMS元件、纳米级结构等小型器件。ALCATEL AMS 200使用多种元件，以确保高性能蚀刻。该系统的核心是利用射频和磁场产生等离子体的电子回旋共振（ECR）离子源。电离气体然后被引导到蚀刻室，该蚀刻室被一个均匀的射频和被动真空环境所包围。然后蚀刻室提供定向蚀刻、通孔蚀刻、二维蚀刻等多种蚀刻功能。此外，一个集成的负载锁定单元允许在不破坏真空的情况下加载和卸载晶片。此外，还提供了几种食谱，以最大限度地提高不同材料的蚀刻效率。由于自动气体输送和压力控制工具，蚀刻机的稳定性可以长期保持。资产还有一个可编程的定时和排序模型，可用于自动化逐步参数和配方的执行。最后，采用了有效的安全设备，在任何异常情况下自动关闭系统。总体而言，PFEIFFER AMS 200蚀刻器是一种可靠的高性能设备，非常适合微电子和MEMS蚀刻应用。其多种特性，包括其射频和被动真空环境、均匀射频和定向蚀刻能力、集成的锁载机、自动化气体输送以及定时和测序工具，使其成为蚀刻应用的绝佳选择。
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