二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229760 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款以高精度能力着称的超高真空蚀刻器/asher。这种设备经常用于各种行业和研究应用中的复杂蚀刻和灰化过程。ADIXEN AMS 200中的原子力显微镜分辨率很高，可用于搜索和成像样品。它的高分辨率使得它适合广泛的应用，从IC系统到纳米粒子。此外，其溅射离子源能够有效地控制离子束在样品表面上形成完美的结构。ALCATEL AMS 200的样品处理具有高度的灵活性和重现性。无论工艺压力或样品大小如何，温度和工艺压力都可以精确调节和保证。表面特性是通过使用原位等离子体处理来实现的，这些处理允许样品表面氧化。这降低了表面污染的风险，改善了蚀刻和灰化过程的附着力。AMS 200中的蚀刻过程使用了氧化物质量的气态蚀刻羽流，从而对晶圆表面造成了微妙和最小的损害。蚀刻是在高真空下进行的，其中从样品表面溅出的离子更快地到达高活性氧。这导致更均匀的蚀刻和对样品材料的最小损害。同样，PFEIFFER AMS 200的灰化过程也是在高真空条件下进行的。利用活性氧与高工艺压力相结合的方法，对灰化工艺进行了优化，使材料快速高效地从表面去除，破坏最小。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200还具有先进的温度控制系统。这允许用户调整工艺室或特定模块或部件的温度。即使过程压力变化,温度也保持恒定.最后,ADIXEN AMS 200是需要超高真空蚀刻和灰化工艺的理想解决方桉.它结合了包括原子力显微镜和原位等离子体处理在内的先进技术，确保了一致和精确的结果。此外，温度控制系统确保对样品材料的损害最小，使其成为各种应用的理想选择。
还没有评论