二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229761 待售
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款用于薄膜应用的高度先进、高精度的蚀刻/组装器。该蚀刻器设计用于薄膜微结构的研究和工业生产。它能够蚀刻各种薄玻璃和金属，如铜和金，精密到纳米级（0.1纳米）。该设备在蚀刻和装配过程中都具有很高的重复性和准确性。该系统包括一个多轴微定位和真空模块，以覆盖在蚀刻和组装步骤中操纵小零件的最大加工面积200 x 200毫米²（平方毫米）。多轴微定位模块在蚀刻机上提供了最高级别的精密控制。它能够精确蚀刻小至0.1纳米的图样。该装置还包含两个一流的电子束源，这些电子束源提供高速沉积、改进的分辨率和优越的吞吐量，以及高功率输出。此外，该机采用集成数字数据处理工具，提供沉积膜的增长速度和沉积膜组成的实时信息。ADIXEN AMS 200蚀刻器/组装器还包括一个高性能、低振动、耐腐蚀的腔室，为材料应用于薄膜晶片表面提供一个统一的温度和湿度控制环境。该腔室进一步确保了高度均匀的蚀刻结果。该资产还包括计算机控制晶圆处理方面的最新进展，以实现最高的效率、耐用性和准确性。这些功能包括一个自动晶圆交换机制，用于快速准确地更换晶圆载波，以及一个用户友好的软件包，以便于操作和优化蚀刻和装配过程。总体而言，ALCATEL AMS 200是一种先进且高度精确的蚀刻器/组装器，能够生产高质量的薄膜微观结构。该模型因其令人印象深刻的速度、高可重复性和准确性以及在各种环境中的通用应用而非常适合研究和工业应用。
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