二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229763 待售
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款高性能的蚀刻器/asher仪器，设计用于样品的精确蚀刻和灰化。它配备了一个集成的锁载室和两个反应室，允许两个不同的并行处理循环。仪器建造温度范围为300至700 °C，压力范围为10-2至100毫巴，气体流量为5至150毫升/分钟。ADIXEN AMS 200能够使用多种化学方法进行蚀刻,包括反应性离子蚀刻（RIE）、干蚀刻和湿蚀刻。此外,该仪器还提供了包括直接等离子体和热浸式灰化（TIA）在内的多种灰化选项。ALCATEL AMS 200的主要优点是其精确的控制和高精度。该仪器具有精确的温度和压力控制两个蚀刻和灰化过程。它还具有精确的气流测量和闭环控制，以保证一致的结果。此外，集成的锁载室可以在处理过程中进行精确的样品处理和快速交换样品。为了操作员的安全，AMS 200配备了集成的过压保护系统。当压力超过过程开始时设置的极限时,此系统会自动关闭仪器。这样可以确保人员和样品的安全。最后，PFEIFFER AMS 200是一种高性能的蚀刻器/灰化器，设计用于样品的精确蚀刻和灰化。该仪器具有精确的控制和高精度，为样品的处理提供了一种安全、可靠和高效的方法。它是任何需要精确蚀刻和灰化的应用程序的理想选择。
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