二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9232795 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一种高精度蚀刻/灰化系统，旨在满足先进晶圆处理环境的需求。它具有长寿命的三极管-等离子体电子源，允许系统执行受控蚀刻、退火和其他处理功能。过程控制非常精确,可实现非常精细的阵列和出色的可重复性。源可以在一系列概率范围内进行调整,以获得所需的结果。机器构造坚固、简单。它主要由带控制门的真空室、等离子体源及其相关电源和控制系统组成。等离子体源具有可调节的快门机构，可确保在整个晶片上一致且均匀的蚀刻/灰化过程。空气和氮气被施加到每个晶片上，没有任何热辐射，也没有损坏它。可以调整蚀刻/灰化过程以适应任何给定的应用程序,并且在晶片之间轻松转换设置。它通过整个晶片保持非常精确和可重复的处理速率，即使有复杂的模式。与其他系统相比,ADIXEN AMS 200的运行温度较低,因此可以运行更长的时间。此外，ALCATEL AMS 200还具有许多安全机制。它有一个传感器套件，监测氮气调节和源，真空压力，和内部温度。如果这些子系统中的任何一个超过安全操作参数,都会向用户发送通知。万一出现任何问题,机器还具有紧急关闭选项。PFEIFFER AMS 200是一种通用系统,能够满足一系列晶圆处理要求,同时确保安全性和精确度。它是需要高精度蚀刻/灰化和精细规模阵列功能的环境的理想解决方桉。