二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9269458 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一种先进的集成蚀刻/asher技术，专为材料处理应用如反应性离子蚀刻（RIE）而设计。它是一个灵活的设备，为用户提供在一个平台上选择三种蚀刻技术。这种灵活性和高端性能使ADIXEN AMS 200成为诸如等离子体辅助蚀刻（PAE）、化学机械抛光（CMP）和光刻等先进工艺的理想选择。系统的关键特性之一是其集成设计，允许用户同时访问腔室、发电机和电源。该设备能耗低,维护最少。它有一个计算机控制的操作机器，允许自动处理。该工具还支持一系列材料，如金属、氧化物、氮化物和塑料。ALCATEL AMS 200可以处理标准模块和生产模块中的多种材料,并具有用于统一蚀刻和加工的高级伺服驱动资产。该模型在单个平台中提供高分辨率扫描和沉积功能，而其集成控制设备则允许用户快速设置过程参数以实现自动化和可重复性。与传统的蚀刻工艺相比，该系统还优化了较短的工艺时间。该装置通过内置的气体和液体歧管提供出色的工艺控制。这允许用户为多种工艺如化学气相沉积（CVD）、离子铣削、激光烧蚀、电化学蚀刻等精确设置气体压力、流量和蚀刻参数。PFEIFFER AMS 200还结合了具有优化阻抗匹配、脉冲频率调制（PFM）、脉宽调制（PWM）和脉冲掺杂放大器的先进射频发生器。这为蚀刻过程提供了更大的控制和更高的精度。该机包括从内置冷却工具以提高热稳定性到高质量气体入口资产的一系列综合功能。这有助于确保用户安全维护蚀刻和图片质量。总体而言,AMS 200在专为各种材料处理应用而设计的集成灵活模型中提供了强大的蚀刻功能。该设备结合了低功耗和易于使用的控制,是精密蚀刻和图像处理的理想解决方桉。