二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9270002 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款工业级的蚀刻器/asher，设计用于在大批量应用中提供可靠的性能。它被配置为满足各种蚀刻和灰化要求,包括批处理和连续处理。高频微波发生器为系统供电，为腔室内的多个加热区提供精确的温度控制。这有助于确保整个要处理的晶圆或基材的蚀刻或灰化过程均匀。ADIXEN AMS 200旨在实现时间和能源的最佳利用。它提供两种蚀刻和灰化模式-自动和手动.自动模式允许用户指定进程所需的参数，并根据上一个进程周期的结果自动调整进程条件。在手动模式下,用户可以手动控制过程条件和间隔,从而更轻松地调整过程条件。ALCATEL AMS 200包括一个实时显示屏，可以随时看到流程结果，帮助最大限度地降低过度处理或未充分处理的风险。AMS 200为长期可靠性和改进的安全功能提供了强大的设计。腔室由内部凸起的陶瓷平台和外部不锈钢外壳组成，提供密封和优异的热性能。它设计用于处理各种工艺化学品和抵抗腐蚀。该系统的设计也考虑到安全性，具有内置的安全传感器和安全联锁，以确保安全的操作环境。PFEIFFER AMS 200可配置多个可选配件以适合特定应用。其中包括射频屏蔽衬里、启用反应性气体处理的气泡以及防止颗粒物堆积的冲洗系统。总体而言,ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一种工业级的蚀刻器/asher,其设计目的是在高容量过程中提供可靠、一致的性能。利用室内多加热区的精确温度控制，提供了自动和手动两种优化资源利用的模式。ADIXEN AMS 200还具有坚固的结构和增强的安全功能,以确保操作安全。