二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9315005 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一种先进的等离子体灰化器/蚀刻器，用于工业蚀刻工艺。ADIXEN AMS 200专为满足苛刻的生产需求而设计，提供精确可靠的蚀刻，可重复性高。它提供业界领先的蚀刻速率,并提供对蚀刻速率、温度和蚀刻时间的准确控制。ALCATEL AMS 200具有智能用户界面，便于设置和操作。它有助于快速优化流程,以及在手动和自动模式下快速调整参数。机载过程监控和诊断可确保准确的结果和过程稳定性。PFEIFFER AMS 200还具有独特的蚀刻控制功能,可精确控制蚀刻轮廓的形状。AMS 200配备了高级控制系统，旨在管理多个流程配方。它还包括各种分析和数据管理选项，如蚀刻特性和统一性分析。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200可用于干式和湿式蚀刻工艺。ADIXEN AMS 200在气体控制方面提供各种选项,包括可变/恒定流量调节器以及数字气体阀控制器。此外，该装置还有一个板载气体溷合和输送系统，可用于精确和可重复的气体溷合物。ALCATEL AMS 200甚至还有一个可选的真空端口用于蚀刻后气体疏散。PFEIFFER AMS 200有多级装载技术的开口，例如蚀刻后化学维护。这使得跨多个基板和腔室配置实现工艺优化变得更加容易。总体而言,AMS 200是一种先进的蚀刻系统,提供精确、可靠和可重复的蚀刻。它提供业界领先的蚀刻速率,以及全面的板载气体控制和对蚀刻速率、温度和蚀刻时间的精确控制。该单元适合各种蚀刻工艺，包括干式和湿式蚀刻，并提供各种功能，以方便快速优化和均匀的结果。