二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9315053 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款针对平板显示器、半导体晶片和太阳能电池等特定应用而设计的蚀刻器/asher。该设备设计用于对小至350 nm的区域进行精密蚀刻/灰化。它具有全封闭、自动化的过程室，能够精确控制过程参数，并具有可定制的用户界面，以实现高效操作。ADIXEN AMS 200配备了先进的气体控制设备，能够对所有相关的过程气体进行精确的流量控制和监测。该系统具有各种蚀刻/灰化参数,包括气体类型、压力、温度和流量。还有多种工艺选项,例如打开/关闭、蚀刻/灰化和深度蚀刻/灰化。该单元还可以针对各种样本量和应用进行定制,并提供出色的蚀刻/灰化结果均匀性。ALCATEL AMS 200还配备了自动晶圆对齐机。这样可确保在开始蚀刻/灰化之前,样品在工艺室中正确对齐。使用一组可调节的对准夹具实现对准，这些夹具为每个晶片提供精确的拟合。PFEIFFER AMS 200还具有先进的真空工具。该资产能够达到0.1 Torr以下的压力，并配备了真空泵、真空计、真空模型控制器等各种真空组件。这样可以确保精确控制所有工艺参数,并确保样品完全暴露于蚀刻/灰化工艺中。为了确保结果是可重复的并且没有污染物，AMS 200配备了强大的排气设备。该系统采用排气喷嘴，除去所有加工副产品和未使用的蚀刻/灰化气体，确保清洁和安全的加工环境。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200装在坚固耐用的不锈钢外壳中,可提供良好的防尘和其他污染物保护。此外，该单元设计方便维修。用户可以快速轻松地进入加工室，并更换任何磨损的零件，而无需拆卸整个机器。总之，ADIXEN AMS 200是一种先进的蚀刻器/asher，可为各种样本量和应用提供精确的工艺控制。它具有坚固的包络，易于维护和修理，并借助强大的真空工具和废气资产提供了出色的均匀性。