二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9285833 待售
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ID: 9285833
优质的: 2008
Plasma DRIE etcher
Dual load locks
Robot transfer module
Controller rack
RF Generator rack
Front and rear monitor
BROOKS AUTOMATION Platform
Magnatron 7 Robot
ACT 600M TMP Turbo pump
Interface computer
Transfer computer process chamber: AMS X200
ACT 1300M TMP Turbo pump
(2) SEMCO HV52000C SEREN L301 RF Power supplies
ADVANCED ENERGY Dressler cesar RF
ENI Spectrum B-3013 RF Generator
Process gases:
Gas / Range
SF6 / 1000 SCCM
C4F8 / 400 SCCM
O2 / 100 SCCM
O2 / 800 SCCM
Ar / 200 SCCM
N2 / 1000 SCCM
Ar / -
CHF3 EDM / -
CE Marked
Power supply: 200/208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200是专为要求苛刻铝蚀刻和灰化要求而设计的专用等离子蚀刻器/灰化器。ADIXEN AMS 4200具有触摸屏HMI控制器,具有广泛的蚀刻和灰化功能。它采用700瓦等离子体源设计,允许在蚀刻/灰化过程中提高可重复性和产量。它有一个独特的双壁不锈钢设计，创造和维持一个真空室，确保正确处理时蚀刻/灰化铝组件。它还带有多种安全功能，如定时器控制的气体阀、气体溢流阀和双速真空调节器，以提高安全性。ALCATEL AMS 4200还有许多可定制的设置，如可调节的直流和射频频率、宽度调制和电流轮廓，使操作员能够量身定制蚀刻过程，并确保所需的结果。内置的射频发电机提供了范围广泛的功率水平，从50 W到700 W，这使得蚀刻过程可以针对每一个特定的应用进行微调。此外，集成腔室压力控制和内置压力表允许在蚀刻或灰化铝部件时进行精确的腔室压力控制。PFEIFFER AMS 4200具有一系列功能,可提高效率和可重复性,同时将维护成本降至最低。具有配方存储和报警记录功能的可自定义软件包使操作员能够轻松配置和存储处理配方以及故障排除操作。此外,自动气体调节器和可选的可编程提升系统可确保可重复工作效率。还提供了一个有效和可靠的双源供应系统，减少了设置时间，提高了流程的可重复性。最后,AMS 4200可以与各种模块（如原位真空泄漏检测模块）结合使用,从而进一步降低安装成本,提高流程的可重复性。总体而言，ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200是一款可靠高效的蚀刻器/asher。它的功能提高了过程的可重复性,并最大程度地降低了维护成本,而其可自定义的设置允许精确控制蚀刻/灰化过程,从而确保获得最佳效果。
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