二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 601E #9232798 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 601E是一种用于精密蚀刻和灰化工艺的最先进的蚀刻器/灰化器。这台多功能机器是高通量、高品质微加工的理想选择。该601E的腔室很大，能够蚀刻尺寸高达8英寸的晶圆，以及包括硅、玻璃和聚合物基板在内的各种基板。该601E采用先进的蚀刻和灰化技术，包括3 D等离子体源、集成气体处理和低压差速泵。与传统的平板设计相比，601E中的3 D等离子体源能够产生更密集、更均匀的等离子体。这项技术可提高工艺的可重复性,并产生更高的蚀刻速率。另一方面，综合气体处理系统提供了对过程气体的精确控制，使等离子体环境更加均匀，并增强了过程的可重复性。601E还配备了腔室冷却系统，在漫长的过程中降低了工艺腔室的温度。这样可以确保基板保持在理想温度下，以优化蚀刻性能和端点检测的精确控制。此外，低压差分泵送系统有助于在长时间的冲洗过程中保持形成的等离子体包络。ADIXEN AMS 601E的设计具有最高的蚀刻和灰度精度。该601E技术先进，设计可靠，性能可靠，是任何蚀刻或灰化应用的理想选择。