二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMZ 200SE #140744 待售

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ID: 140744
晶圆大小: 6"
优质的: 2003
Deep reactive ion etcher, 6", 2003 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMZ 200SE是为实验室和工业用途而设计的蚀刻器和灰化器。它是一种自成体系的仪器,适用于蚀刻、沉积和微加工等多种应用。ADIXEN AMZ 200SE采用不锈钢腔室构造,与数字真空控制系统高效通风集成。腔室还配有可升降盖和凹窗,可以全面观察过程。该室还具有多孔陶瓷绝缘,允许有效的热控制,并辅之以室内强制空气循环,旨在最大程度地提高温度均匀性。蚀刻器/灰化器装有气体面板,内含多种气体,如甲烷、SF6和氦气。根据应用,用户可以轻松改变气体流量、压力和成分。此外,集成脉冲电源控制气体的功率水平,允许用户根据具体要求轻松调整工艺参数。ALCATEL AMZ 200SE具有用户友好、易于使用的操作软件,旨在提高生产率,同时提供最大程度的过程控制。该软件被编程为监测和控制一系列工艺参数,如工艺时间、压力和气体流速。它还可以监测压力,对任何计划外事件做出反应,使其成为可靠稳定的系统。AMZ 200SE是为实验室和工业环境中的最大安全而设计的。主要安全功能包括内置应急阀门和特殊机械密封,确保所有危险气体安全地装在腔室内,并从使用者手中排出。PFEIFFER AMZ 200SE是一种可靠、高效的蚀刻器,非常适合各种应用。适用于精准精准的操作,具有多种易于调整和监控的工艺参数。这些参数包括气体供应、压力、脉冲电源和工艺时间。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMZ 200SE具有可靠和高效的特性,适合实验室和工业环境。
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