二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR 300 #9386027 待售
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR 300是为硅片等材料的手动蚀刻而设计的高精度蚀刻器/asher。它旨在使用户能够处理各种基板，包括具有电气、照片、温度和环境特性的基板。ADIXEN GIR 300提供了多种功能和选项,允许用户根据自己的确切需求定制流程。ALCATEL GIR 300是一种垂直蚀刻器/asher,具有旋转的压板组件,使晶片在处理过程中能够移动。这使得基板可以在不同的方向进行蚀刻，允许用户在保持精度的同时最大化蚀刻速率。压板由气动缸固定在适当的位置,确保精确的运动.GIR 300配备了几个独特的控制组件，使用户能够生成精密蚀刻所需的高速蚀刻速率。这包括伺服驱动、四轴定位系统、线性驱动器和高精度压电驱动器。这些元件可用于调整蚀刻速率、蚀刻深度和最终层厚度。该蚀刻器还配备了集成气体探测器和压力计，可以提醒用户注意任何潜在的气体泄漏，并显示加工室内部的压力。此外,自动化的过程结束控制系统会监视蚀刻过程,提醒用户及早发现任何问题,并防止晶圆受到潜在损坏。安全是PFEIFFER GIR 300的优先事项，并配备了多种监控压力、真空和加工室内温度的安全特性。集成的联锁系统可防止门在处理过程中打开,如果超过任何安全限制,安全阀将关闭气体供应。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR 300是一款用途广泛的蚀刻器/asher，设计用于硅片和其他材料的精密蚀刻。其强大、高精度的驱动器组件和集成的安全功能确保了过程的安全和准确。
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