二手 ALPHA PLASMA ASTRO-CA100 #293774362 待售

ALPHA PLASMA ASTRO-CA100是一种高性能的蚀刻器/asher工具，设计用于半导体制造和研究应用中的精密表面处理。这种先进的设备采用等离子体技术，提供高度受控和均匀的蚀刻/灰化工艺，对于在设备制造中取得可靠和可重复的结果至关重要。ASTRO-CA100具有多功能和用户友好的设计,非常适合各种材料处理需求。该系统占地面积小,界面直观,提高了操作和维护的简便性,使操作员能够以最小的停机时间高效地执行流程开发和生产任务。该单元的核心是一台大功率射频等离子体发生器，能够提供稳定可调的等离子体密度，以适应不同的材料类型和工艺要求。等离子体源得到一台先进的气体输送机的补充，该机能够精确控制工艺气体、流速和用于定制等离子体化学和蚀刻/灰分选择性的溷合物。该工具的腔室由高纯度材料制成，以尽量减少污染并确保一致的工艺结果。温度控制卡盘在加工过程中提供热稳定性,这对于在整个基板表面实现蚀刻/灰分深度和轮廓的均匀性至关重要。卡盘还使基板加热或冷却能够优化特定应用的工艺条件。ALPHA PLASMA ASTRO-CA100提供了一系列工艺配方和参数设置，以适应各种蚀刻和灰化应用，如光刻胶剥离、介电蚀刻、氧化物去除和材料改性。用户可以轻松定制工艺条件,如压力、功率、气体成分和处理时间,以实现所需的蚀刻/灰分速率和材料去除选择性。资产配备了高级端点检测功能,可实时监控流程进度,并在到达所需端点时精确终止蚀刻/灰分步骤。此功能可确保准确的过程控制,并最大程度地减少过度蚀刻,从而导致设备损坏或产量下降。除了精确和控制功能外，ASTRO-CA100还优先考虑用户安全和环境可持续性。该模型采用内置的安全联锁装置、气体洗涤机构和废气管理系统设计，以防止暴露于有害物质，最大限度地减少对环境的排放。总体而言，ALPHA PLASMA ASTRO-CA100代表了在半导体和研究环境中高精度等离子体蚀刻和灰化应用的尖端解决方桉。凭借其创新的设计、可靠的性能和以用户为中心的特性，这款设备是在先进的设备制造过程中实现高质量成果的不可或缺的工具。