二手 AMAT / APPLIED MATERIAL P5000 #293656948 待售

AMAT Applied Materials AMAT/APPLIED MATERIAL P5000 Asher/Etcher是一种通用工具,适用于众多行业的各种高精度工艺应用。该设备提供卓越的精度和稳定性,同时提供高效的吞吐量,使用户能够获得一致的高质量结果。AMAT P5000具有三个工艺室-一个用于预清洁,一个用于蚀刻,一个用于后清洁。每个工艺模块都配有独立的压力和温度控制，以及原位和异地监控功能，允许用户优化工艺。腔室通过内置冷却器和精确的热PID回路来控制温度。此外，还建立了先进的压力控制系统，以改进稳态均匀性和精确的工艺优化。应用材料P5000具有多种沉积技术，如电子回旋共振蚀刻、高密度等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻、低温深等离子体蚀刻和先进工艺配方的多步蚀刻。此外，该单元支持广泛的蚀刻气体，使其成为高级逻辑和内存设备、互连、MEMS设备等应用的绝佳选择。P5000具有一些先进的功能,使其在其他蚀刻/asher系统中脱颖而出。该工具的高级集成自动化功能减少了用户对设置和工艺配方的参与,使其成为满足更大生产需求的理想选择。集成互锁验证机实时监控所有关键刀具参数，并为用户提供详细反馈，确保可靠和可重复的结果。AMAT/APPLIED MATERIAL P5000还提供高级过程监视功能,以确保准确的过程优化。这包括原地和异地光学观测，以及一个内置的光谱仪，用于验证配方期间的关键工艺参数。此外，该工具还包含实时电气监控资产，可防止任何类型的过度蚀刻或不足蚀刻。总体而言,APPLIED MATERIAL/Pllied Materials AMAT P5000 Asher/Etcher是要求卓越性能和准确性的工艺应用的理想选择。其先进的特性，如集成的自动化和过程监测能力使其成为生产过程的理想之选，其广泛的沉积和蚀刻技术使其用途极为广泛。该模型还易于操作和维护，进一步提高了其在生产环境中的有效性。