二手 AMAT / APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP #293618048 待售

ID: 293618048
Etcher.
'AMAT Applied Materials AMAT/APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP是一款高度先进的蚀刻器/asher,专为半导体和内存行业的关键工艺应用而设计。此设备能够以可靠和一致的方式提供高端性能。该系统的蚀刻/灰化能力适用于多种材料,如多晶硅、poly-SiGe、polycide和聚酰亚胺。AMAT Precision 5000 Mark II MXP单元配备了专利淋浴头工艺室,提供优化的均匀性和吞吐量。蚀刻/灰化工艺采用了带真空-超高密度的ICPRB(密集型等离子体反应器底部进料)工艺室。该UHDP腔室旨在提供高度稳定的蚀刻/灰化工艺。通过高分辨率模式识别和双自由度控制系统,可以准确地确定机器对蚀刻/灰化过程的精确控制。该工具还支持多种气体,以增加工艺优化的灵活性。该资产还配备了高级控制器和软件,可以对流程参数和硬件设置进行有效的微调控制。用户友好的软件界面简化了模型的操作和监控。APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP设备还配备了污染控制和安全功能,可减少缺陷并确保安全的工作环境。这些包括闭路通风、泄漏检测和自动清洗系统。此外,该单元还提供在线流程变量的实时监控、趋势确定和数据收集。Precision 5000 Mark II MXP机器是一款可靠、高性能的蚀刻器/asher,适用于半导体和内存行业的多种工艺应用。此工具能够在要求最苛刻的流程环境中提供一致、可靠和高端的性能。资产的高级功能,如UHDP腔室、精密控制系统和安全功能,可实现最佳的工艺优化、缺陷减少和可靠的操作。
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