二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-10202 #167840 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-10202
ID: 167840
晶圆大小: 8"
ESC's, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-10202 Asher Etcher是一款前沿机器,专为各种基材提供先进的蚀刻和灰化工艺。该设备完全由不锈钢构成,能够以高达每小时2000晶圆的速度进行蚀刻/灰化,并具有高精度和高精度的结果。该系统包括一个Ext-Met单元控制器,用于完整的自动化过程监视和控制。该机配备了高性能的圆盘蚀刻室和两个传递室,每个都有真空泵。圆盘蚀刻室能够以任何速度蚀刻/灰化材料,每小时高达2000个晶圆,具有充分的环境和工艺控制工具能力。这个腔室有一个可调高度的基座,可以方便的加载和卸载晶片,以及用于过程调整。资产还包括一种气体蚀刻工艺能力,允许选择不同的气流和压力来配置最优化和精确的蚀刻/灰烬工艺。AMAT 0010-10202 Asher Etcher设计为在全系列材料中以最小的维护和接近完美的蚀刻效果运行。该模型具有内置的温度和流量控制能力,可以调整以提供尽可能最一致和精确的蚀刻结果。设备还包括均匀性和污染监测软件,使用户能够远程监测蚀刻/灰烬过程,并确保材料得到精确处理。该系统还配备了多级可编程控制器,为用户提供最高级别的过程控制和精度。该单元还包括先进的自动化能力,为多个晶片批次提供稳健的过程控制和支持,具有高度的可靠性和可重复性。机器还包括一个安全覆盖工具,如果出现任何不规则性,该工具会自动停止蚀刻/灰烬工艺。总体而言,APPLIED MATERIALS 0010-10202 Asher Etcher是一款卓越的机械,旨在提供最高水平的蚀刻/灰化基板生产。其先进的自动化、均匀性和污染监控器以及安全覆盖系统使其成为精密过程(如与半导体行业相关的过程)的理想选择。资产的高速、高精度工艺提供无与伦比的控制和质量控制,使其成为市场上最好的蚀刻机之一。
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