二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-89006 #167778 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 0020-89006是一款先进的半导体制造蚀刻器/asher。这种蚀刻器/asher利用冷等离子体技术来加工薄膜底物。该设备具有平面和3-D图样处理能力，可以将薄膜基板蚀刻和粉刷至亚微米精度，并具有可重复的均匀性。该系统的组件包括一个带负载锁的蚀刻室、一个带负载锁的asher室、一个泵站、一个用于集成过滤器/净化的室、一个惰性气体供应、一个精确对准单元、一个气动模块、一个电源、一个非原位真空启动机和一个真空互锁。该工具旨在提高资产吞吐量和利用率，提高生产产量，减少基板损坏。这种型号能够处理多达6英寸的晶圆，并且有一个过程控制模块，有多个配方和每个配方250个步骤。其设计支持多种薄膜蚀刻和基板处理工艺，包括但不限于介电蚀刻、CMP表面平面化、静电等离子体清洁调理、溅射蚀刻、保形涂层、氧化/氮化和高温退火。该设备具有多种特点，可确保精确的加工和均匀性，包括晶圆夹紧扭矩和控制、冷却剂歧管压力控制、聚焦深度控制的自动对焦能力、调节工艺条件和功率水平的能力、监测关键工艺参数的现场测量能力以及防止污染的综合清洁室。AMAT 0020-89006是一个工业级的蚀刻器/asher系统，提供具有可重复均匀性的高精度。其先进的特点提供了高效的加工，确保了生产数量运行的均匀性和准确性。其精密的单元提供了薄膜蚀刻和薄膜加工的膨胀能力。这台机器是生产半导体制造应用的完美解决方桉。