二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-77771 #293596913 待售

ID: 293596913
Polymide ESC, 195 mm.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-77771是为低温干蚀刻和灰化而设计的最先进的蚀刻器或灰化器,可提供先进的图样转换过程,并获得出色的质量效果。此高性能蚀刻器提供了最高速率的控制参数精度和精确控制,以实现关键的过程步骤。它被设计为提供质量最好的基板具有极其紧密的特征轮廓控制和低缺陷密度水平。该蚀刻器适用于多晶硅、二氧化硅、聚酰亚胺、铝/铜和铝/硅以及氮化硅等多种材料。它提供了强大的晶圆级工艺,涵盖浅蚀刻、深蚀刻、深反应性离子蚀刻(DRIE)、等离子体蚀刻、离子铣削和离子束蚀刻。蚀刻器独特的高级调整提供了对羽流持续时间和占空比的精确控制,实现了多种模式,从浅层特征到非常深的特征,以及在蚀刻和灰化过程之间进行切换的能力。AMAT 0040-7771由于在蚀刻室中电离更充分,蚀刻气体中离子迁移率更高,也能提供比传统蚀刻设备更高的质量结果。APPLIED MATERIALS 0040-77771蚀刻器也是由高度可靠的元件构成,具有可调真空室,提供极好的防污保护。它有一个集成的水冷系统,以确保精确的温度控制和可靠性,即使在长时间运行。加热器也集成到系统中,这有助于降低热梯度。蚀刻器还具有详细的配方控制系统,使操作员能够存储、召回和编辑流程配方以供以后使用。这样可以快速轻松地调整各种蚀刻和灰化要求的参数,从而避免任何延迟或浪费精力。此蚀刻器是现代蚀刻和灰化机械的绝佳补充,因为它提供了无与伦比的精确度和控制以及广泛的功能。0040-7771经过设计,为现代半导体制造的尖端需求提供可靠、快速、优质的解决方桉。它是任何当代过程工程实验室的重要组成部分,它希望确保以最高质量传输其模式。
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