二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-77771 #9047010 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-77771
ID: 9047010
Polymide ESC, 195mm.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-77771是一种蚀刻器/asher,一种用于精确蚀刻材料表面的实验室设备。它利用粒子诱导的蚀刻和灰化原理,能够逐层去除小面积的材料。这种技术经常被用来创建用于科学测试的微结构。AMAT 0040-77771采用化学底漆化学和真空处理相结合的方式进行蚀刻和灰化。这种组合产生了高精度的纳米结构表面,在蚀刻后处理中保持化学稳定。结果一致、可重现、高度可靠。该单元具有直径约5英寸的大腔室,可接受最多6英寸的要蚀刻和粉刷的材料。压力范围为10-6 Torr的真空泵保持室内的最佳工作压力.此范围允许清洗和蚀刻各种材料。一套4条气线(Argon、Oxygen、CF4、Ammonia)可用于在蚀刻和灰化过程中注入化学物质。利用AMAT专利的受控加速技术增强了蚀刻/灰化工艺,提高了反应性离子和聚焦光束向基板的转移效率。这项技术最大程度地减少了高度复杂区域的过度暴露,并防止了蚀刻表面的结晶和闪烁。APPLIED MATERIALS 0040-77771是进行研究型蚀刻/灰化的理想平台。它可以配置广泛的附件,以扩展设备的能力,包括光学系统、光学显微镜、干涉测量、痕量分析和化学蒸气分析。该单元还为蚀刻/灰化过程的自动化提供了出色的支持,具有高清数字增强成像系统和用户定义的软件编程模块。0040-77771是用于精密材料去除的强大蚀刻器/灰化器。它具有坚固的结构、大的工艺室以及对传输效率的高度重视。它结合了化学引发化学和真空处理,使其成为研究和测试的理想产品,其用户定义的软件编程允许自动化过程。
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