二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-92696 #171999 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-92696是一个蚀刻器/asher平台，设计用于各种薄膜材料的腔室蚀刻和灰化。该蚀刻器/asher具有用于示例加载/卸载的全自动设备,并具有基于Windows的HMI。它配备了两个处理模块：一个5口袋电光抛光模块和一个6口袋干蚀刻模块。这两个模块都具有双工艺室设计，允许在每个腔室中发生独立的工艺，并允许处理直径达18英寸的大型基板。蚀刻器/灰化器系统能够使用包括湿蚀刻、等离子体蚀刻和反应性离子蚀刻（RIE）在内的多种蚀刻技术来处理各种材料，包括金属、硅、砷化氙、陶瓷和玻璃。湿蚀刻模块设有用于腐蚀性蚀刻化合物的加热浴池，以及用于清洁高效加工的独立冲洗和排气系统。等离子体蚀刻模块利用射频（RF）源功率,实现定向和各向同性蚀刻,具有出色的蚀刻可控性。RIE模块通过使用高密度等离子体以最小的碎片实现精确的图样蚀刻。AMAT 0240-92696包含复杂的监控功能,允许精确和可重复的过程。例如,自动采样器使蚀刻器/asher单元能够在其两个模块中不断监测温度、压力和ICP射频功率。它需要最少的操作员参与，有一个直观的图形用户界面，以允许平稳操作。机器还包括一个自动排气管理工具，以确保所有气体从工具中正确排出，以及一个紧急关闭开关以增加保护。总体而言,APPLIED MATERIALS 0240-92696是一个高级蚀刻器/asher平台,可为用户提供一系列高精度蚀刻和灰化功能。其集成的自动化资产和监控控制确保了精确的流程,而用户的参与程度却很低,而且其广泛的蚀刻技术使其适合在各种应用中使用。