二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 5200 #170744 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 5200是一种先进的蚀刻/灰分设备（蚀刻器/asher），旨在为下一代材料提供可靠、高质量的蚀刻、灰度器和其他工艺性能。该系统由一个加工室和一个线性运动/平移组件组成，以利于基材的精密蚀刻/灰分。AMAT 5200的工作原理是将气体或蒸气引入到工艺室内，并对该室的内容物进行各种流量控制和工艺控制参数。这种先进的控制和工艺特性的结合为用户提供了一个坚固可靠的单元，可以容纳各种各样的基板，具有最高质量的蚀刻或灰分结果。APPLIED MATERIALS 5200的基本型号附有25.4 cm x 25.4 cm（10 "x 10"）的製程室，可容纳高达5000 W的正反向功率，用于蚀刻/灰烬配置。这使用户能够为每个进程或asher配置运行30 W,从而提供更大的多功能性和选择性。5200允许高达1000 °C的温度、加湿能力和气流管理。AMAT/APPLIED MATERIALS 5200具有最新的腔室屏蔽技术,可以将用户与蚀刻或灰烬工艺的任何有害副产品隔离。所使用的屏蔽材料是涡流屏蔽结构，以确保免受有害排放。AMAT 5200提供了一种精确的驱动机器,旨在使过程条件随时间重复。这是通过线性运动组件实现的，该组件由获得专利的同步涡流电动机提供动力，以确保蚀刻/灰分工艺的准确性和可重复性。APPLIED MATERIALS 5200还包括可选的控件,例如厚度监视和端点检测,以允许用户实时监视过程。5200具有多单元过程监视工具,可用于监视蚀刻/灰分过程的每个步骤,以提高过程的可重复性。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS 5200具有完全集成功能,用户可以利用其设施内的其他流程或设备。这使用户能够轻松地将其现有的蚀刻/灰分配方转换为AMAT 5200。总而言之,APPLIED MATERIALS 5200为各种基材提供了最新的高质量蚀刻/灰分功能。5200具有先进的工艺室、屏蔽材料、精确的驱动器资产、数据监控和集成功能,是寻找新一代蚀刻/灰烬性能的用户的理想解决方桉。