二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #293645356 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8100 蚀刻器/asher是为半导体器件的高生产率纳米蚀刻和灰化而设计的设备。AMAT 8100 蚀刻器/asher包含一个ColdWall™加工室,能够在高达300 C的温度下处理200 mm大小的基板。该系统采用电感耦合等离子体技术，对各种材料进行更快、更均匀的蚀刻。这允许循环时间远低于1分钟的ashing和蚀刻任务。APPLICED MATERIALS 8100 蚀刻器/asher还具有用于自动装载和卸载基板的双桶运输机制。双桶设计方便了更快的装卸，提高了运行多种配方的灵活性。8100 蚀刻器/asher支持许多常用材料（如硅、二氧化硅、铝、钨、电介质等）的工艺配方和兼容蚀刻气体。该单元提供了一系列物理过程控制变量，如压力、等离子体功率和过程气流，使用户在蚀刻方面具有灵活性。AMAT/APPLIED MATERIALS 8100 蚀刻器/asher还提供了强大的数据记录和分析功能,以及一个全面的配方库,允许用户创建、存储和管理自定义配方,从而加快了流程的设置和执行。AMAT 8100 蚀刻器/asher是一种理想的机器,可用于通过填充、接触孔蚀刻和防反射涂层去除等应用。该工具旨在提供出色的过程重复性和性能。用户友好的设计和灵活性使其适合广泛的工艺应用，允许用户实现最大程度的蚀刻和灰度生产。