二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #9356906 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8100是一种用于半导体器件生产的蚀刻器/灰化器。其紧凑的设计、多功能性的蚀刻功能以及高吞吐量率使其成为低容量和高容量生产及工程应用的理想解决方桉。AMAT 8100提供了一个集成的微波发生器，它提供了比手动方法更高的源功率，从而能够精确控制和处理复杂的薄膜结构。该发电机还与原位压力控制器配对，以确保精确蚀刻均匀性和降低漂移敏感性。APPLICED MATERIALS 8100板具有创新的多点锁载设备,旨在提供工件与加工流体之间的紧密接触,以实现工艺结果的最佳均匀性。8100配备了一系列焊接、互锁的元件，确保了工艺的安全性、可靠性和准确性。该系统使用自动馈入锁定功能,以确保在此过程中所有安全组件保持安全接合。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS 8100还拥有一个集成的盒式晶圆提升和传输单元,可优化加载时间、减少加载错误并确保过程结果的一致性。AMAT 8100先进的自动化和过程控制系统为用户提供了实时监控蚀刻过程并即时进行调整的能力。这包括广泛的过程测量和警报,以及完整的数据显示和控制,以及可重复蚀刻过程的多配方内存和存储。APPLICED MATERIALS 8100还集成了先进的高级流体管理机器,允许用户为其所需的蚀刻过程配置最佳温度和流量分布。8100有多条车载线路，可用于引入多种流体，包括腐蚀剂、光致抗蚀剂和电介质。AMAT/APPLIED MATERIALS 8100进一步支持对耗材的高效管理,如气体输送、操作员签名和用户定义的数据日志记录。AMAT 8100 蚀刻器/asher具有多种特点,是一种功能强大且可靠的半导体器件生产解决方桉。APPLIED MATERIALS 8100增加了安全性、精确度和自动化系统,使其成为低批量和大批量生产及工程应用的合适选择。