二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #293652765 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 蚀刻器/asher是一种多功能、高性能的工具,用于对包括硅、石英和其他电介质在内的各种基板进行蚀刻和图案化。它是为快速、高效的材料去除而设计的，以创造微米到亚微米尺度的装置特性。该工具能够控制蚀刻深度和宽度，使用反应性离子蚀刻（RIE）工艺精确度优于10埃。AMAT 8110具有闭环加工室以确保均匀性,并配备自动并联电感耦合等离子体（iCP）源,可实现高长宽比和步进覆盖。自动化晶片处理技术为大批量生产提供一致、可重复的结果。蚀刻器/asher设计用于处理多达24个6英寸（150毫米）晶片的批次,以实现高吞吐量和最大生产率。该工具设计用于与各种蚀刻气体兼容，包括氯气（Cl2）、碳氟化合物（CF4和CHF3）、氧气（O2）和三氟化氮（NF3）。采用高纯度蚀刻气体和闭环加工室，提高了蚀刻的均匀性、最终吞吐量和可重复性。此外，蚀刻器/asher可以配备石英晶体监视器（QCM），直接就地监测蚀刻过程。APPLICED MATERIALS 8110 蚀刻器/asher包括集成的压缩机和真空设备，以及闭环冷却系统，提供优化的等离子体环境。板载用户界面提供直观的控制、监控和记录各种工艺参数，包括温度和压力。该工具还支持对几个流程变量进行实时监控，从而实现流程优化和维护流程一致性，以实现高产率。为了解决与过程可重复性相关的问题，该工具利用具有模式识别的专有焦炭速率分析单元来确保从晶圆到晶圆的一致蚀刻结果。8110还提供了用于步进覆盖和高宽高比结构的精密自动晶圆对准机选项。作为其标准设备的一部分，AMAT/APPLIED MATERIALS 8110还配备了可编程反馈环路控制，使探针测试能够改进产量结果的过程控制。AMAT 8110 蚀刻器/asher旨在帮助制造商提高生产产量和质量。其多才多艺的设计、高吞吐量和坚固的硬件,以可重复的性能和最大的产量实现了快速高效的生产。该工具是半导体制造商必不可少的工具,可实现最高的缩放和设备精度。