二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9068915 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 8110
ID: 9068915
晶圆大小: 5"
Etchers, 5".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 Asher/Etcher是一款用途广泛且可靠的自动等离子蚀刻和灰化设备。它设计用于多种半导体和高级封装工艺,如RDL(Redistribution Layer)、TSV(Through-Silicon Via)、MEMS(Micro-electro-mechanical systems)、高级封装。由于其高性能和精确度,它非常适合研发和生产过程。AMAT 8110 Asher/Etcher具有外部锁载室和高通量石英管传递室。这使得它能够以最小的污染高速处理物品。它采用高级自动化控制进行设计,并具有直观的用户界面,使用户能够从预设参数库创建和执行自定义配方。APPLICED MATERIALS 8110 Asher/Etcher配备了先进的控制系统,工作温度范围宽广,为-5 °C至+120°C,使其能够实现更高的吞吐量,加工更大的晶圆。它还配备了几个独特的特点,以提高生产效率。其中包括Pre-Selected处理,用户可以在其中选择一组可应用于同一进程运行的进程参数;和Process Tune-up,它允许用户实时即时调整参数。8110 Asher/Etcher还具有高热均匀性和出色的温度梯度控制,可优化工艺产量。它配备了一个内置的实时轮廓监视器以及各种各样的原位和异位诊断工具。它还有一个自动报警单元,在发生意外情况时提醒操作员。AMAT/APPLICED MATERIALS 8110 Asher/Etcher与广泛的气体相兼容,包括的Argon、Nitrogen和Hydrogen,并且可以配置高达6-MHz的操作以进行快速蚀刻和灰化。它还配备了一个集成真空和压力控制机,用于优化晶圆控制。总体而言,AMAT 8110 Asher/Etcher为半导体和高级封装工艺提供高性能、用户友好的蚀刻和粉刷解决方桉,使用户能够实现高产率和提高生产率。它是生产和研发应用的可靠、经济高效的选择。
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