二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9144929 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 （AMAT） 蚀刻器/asher是一种高度通用、可信的蚀刻和灰化设备,非常适合钝化层、电介质和金属材料的沉积、晶圆清洁和蚀刻。AMAT 8110具有高效、低温的等离子体源,能够控制和重复蚀刻过程。APPLICED MATERIALS 8110具有高效、平衡的反应离子束/气体流动特性，对蚀刻工艺参数和腔室条件提供了良好的控制。它简单的用户界面和高效的操作使得使用8110是可行的，即使没有经验的操作员也是如此。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110还能够对金属、电介质和钝化层进行高速蚀刻、高选择性蚀刻和干洗。AMAT 8110的蚀刻和灰化基板具有优良的加工均匀性和晶片表面质量。均匀性是通过平衡的三区蚀刻加工实现的。APPLIED MATERIALS 8110还具有高灵敏度的原位端点检测功能,可监控过度蚀刻产生的蚀刻速率和下游污染。它还提供了一个蚀刻停止功能，允许用户精确终止蚀刻过程。8110的等离子体源还提供了蚀刻速率和温度分布的均匀性，使其适合大型生产线。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS 8110通过快速、设置和调整蚀刻气体,实现了非常快速的工艺周期。此外,该系统还具有多种内置安全功能,包括超压切削单元、超压传感开关和冷却机器,以保护晶片在蚀刻过程中免受热应力的影响。AMAT 8110还具有可靠性和易于维护的特点,使其成为可靠的主力军。它的五个易于更换的真空泵使维护更容易，而它的自动真空工具保持维护无忧。此外，它的自动化清洁资产使用户能够快速、轻松地清除室内的污染。APPLICED MATERIALS 8110 蚀刻器/asher是一种有效的、高度通用的模型,专为金属、电介质和钝化层的蚀刻和粉刷而设计。具有低温等离子体源、均匀蚀刻速率和温度分布、高选择性蚀刻、原位端点检测、超压切割设备等安全特性，确保加工可靠。其用户友好的界面和易于维护,使其成为可靠的主力军,可帮助用户快速准确地完成各种流程步骤中的任务。