二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9269146 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110是一款蚀刻器/asher，提供卓越的等离子体蚀刻性能，实现卓越的工艺质量和可重复性。它是一种能够蚀刻多种材料的独一无二的设备。系统配备了两个独立的Premium Controllers和两个基板卡盘，设计用于运行多种材料和工艺配方。AMAT 8110单元具有高通量、高批量的生产流程,适用于各种应用程序中的所有蚀刻操作。高性能腔室可容纳所有基板尺寸,并预配置APM 1700或1400进纸机（适用于较大的卷）。APPLICED MATERIALS 8110还包括先进的数字管式炉和大型排气冷却工具，实现了快速坡道速率和深度蚀刻性能。8110通过集成的过程监视工具（如可跟踪文件、参数文件和过程监视器）提供了卓越的重复性。这样可以确保资产输出和性能一致。数字管式炉可实现快速温度斜坡，最大限度地减少蚀刻过程关键部分的变化。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110具有灵活的电极设计,增强了过程控制和可重复性,同时由于其三个蚀刻电极而提供了卓越的灵活性。AMAT 8110还有多种控制，包括动态压力控制器、氧和氟流量控制以及电弧电压调节。这允许用户定制蚀刻过程并调整过程以达到最佳效果。APPLICED MATERIALS 8110可用于蚀刻金属、聚合物、绝缘体和半导体，提供各种材料类型的竞争性能。最后,8110可以集成到现有的单元体系结构中,并与其他AMAT设备配对,作为完整模型配置的一部分。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110是高性能蚀刻应用的完美蚀刻器/asher。其先进的技术和设计为所有材料类型提供了卓越的蚀刻性能、可重复性和控制。这种用户友好的设备为用户提供了最高级别的工艺性能和生产率。