二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9277530 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8110是一款先进的蚀刻器和灰烬设备,旨在提供卓越的蚀刻和灰烬性能。AMAT 8110利用先进的等离子体源技术,结合自动动力和压力控制,提供高度可重复的蚀刻和灰烬工艺。APPLICED MATERIALS 8110旨在精确控制蚀刻和灰化率,从而产生优越的工艺重复性,从而产生优越的产量。8110利用圆柱形蚀刻室与直驱伺服运动系统耦合进行超精确蚀刻和灰烬操作。直接驱动单元使AMAT/APPLICED MATERIALS 8110能够提供非常准确和可重复的结果,即使在蚀刻或灰化复杂形状时也是如此。AMAT 8110设计为在高射频和直接驱动频率下运行,这增加了蚀刻和灰度均匀性和可重复性。APPLICED MATERIALS 8110还具有一个大型的柔性负载锁定机,可以容纳各种各样的晶圆,使客户能够最大限度地提高效率和吞吐量。Loadlock工具配有高级流程控制器,提供远程监控和配方管理,使8110易于使用。此外,Advanced Materials AMAT/APPLICED MATERIALS 8110具有内置的安全功能,包括压力敏感的安全快门,可提高安全性并降低受到污染的风险。AMAT 8110还设有屏障墙,以消除蚀刻气体和灰烬气体溷合的问题。先进的蚀刻和灰烬技术、卓越的精密和控制、灵活的负载锁定系统以及安全特性相结合,使APPLIED MATERIALS 8110成为一种顶级的蚀刻器和asher。8110旨在提供可重复、精确的蚀刻和灰化操作,具有卓越的吞吐量,使客户能够最大限度地提高产量并降低成本。
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