二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #78336 待售
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ID: 78336
晶圆大小: 5"
Plasma Etcher for 5" wafers
System includes:
25 x 25 SS water cooled bell jar
Power hoist
AMAT PLC controller
Auto valve control
2Kw RF power supply with matching network
Multi MFC gas inlet & pressure controller
Heat & cool exchanger pump assembly
Three gas manifold
Leybold TMP1000 L/S Turbo pump
D60 Mechanical pump
Quartzware and Spares
Manuals
Not included:
RF power supply
Turbo pump and controller
Gas and vacuum manifold
Mechanical pump
Gate valve
O-rings
Seals
Gaskets
Currently stored in a warehouse.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 蚀刻器/asher是一种先进的干蚀刻设备,设计用于处理尺寸为8英寸的圆形或矩形晶片。用于多种行业，如半导体制造、平板显示器、MEMS制造等。其蚀刻能力使得它非常适合类似尺寸的基板。该系统具有精密的控制单元，允许精确的过程控制和可重复性。该机精密的两轴运动运动控制实现了高性能、可重复的蚀刻结果。AMAT 8115的另一个特点是能够处理各种加工气体，包括O2、Cl2、SF6、NH3等。这种气体柔韧性使其能够适应各种蚀刻需求。APPLICED MATERIALS 8115利用硬阴极、开场元件，其设计提供比磁控管系统更均匀的蚀刻。此外,集成射频发电机可提供高达300 W的高功率输出。该工具在紧凑的空间内运行,由转移模块、反应室、机器人和废气资产组成。该模型旨在方便晶片的自动化装卸。该设备还配备了气体监测能力，以确保该过程达到最佳水平。8115 Etcher/Asher专为提供高性能蚀刻而设计,具有极高的精确度、重复性和长期可靠性。它是半导体制造商和其他行业利用微加工工艺的一种方便、经济高效的工具。
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